中圖儀器SJ6000高精度激光干涉儀品牌以光波為載體,，具有測量精度高,、測量速度快、測量范圍大,、最高測速下分辨率高等特點,。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。在動態(tài)測量軟件的配合下,，激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,。

產(chǎn)品功能特點

1,、精度高

SJ6000高精度激光干涉儀品牌以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強,、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

3、功能廣

（1）可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償,。

3,、軟件強

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。

4,、標(biāo)準(zhǔn)多

內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn),，包含GB、ISO,、英標(biāo),、美標(biāo),、德標(biāo)、日標(biāo)等國內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn),?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償。

產(chǎn)品應(yīng)用

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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